共 50 条
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バリア機能を有する金属元素と触媒能を有する金属元素との合金膜を有する基板[ja]
被引：0
申请号：
JP20100548545
申请日：
2010-01-28
公开(公告)号：
JPWO2010087392A1
公开(公告)日：
2012-08-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/285
IPC分类号：
C23C16/08
C23C16/18
H01L21/28
H01L21/288
H01L21/3205
H01L21/768
H01L23/532
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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