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酸化物半導体及び半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20150225191
申请日：
2015-11-17
公开(公告)号：
JP6495808B2
公开(公告)日：
2019-04-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/786
IPC分类号：
H01L21/336
H01L27/146
H01L29/788
H01L29/792
H10B41/27
H10B41/50
H10B43/27
H10B43/50
H10B69/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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