薄膜トランジスタアレイ装置、薄膜トランジスタアレイ装置の製造方法[ja]

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申请号
JP20110514973
申请日
2010-09-21
公开(公告)号
JPWO2012038999A1
公开(公告)日
2014-02-03
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G09F9/30
IPC分类号
G09F9/00 H01L27/32 H01L51/50 H05B33/04 H05B33/06 H05B33/10 H05B33/22 H05B33/26
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[3]
薄膜トランジスタアレイ基板[ja] [P]. 
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[4]
酸化物薄膜トランジスタアレイの製造方法[ja] [P]. 
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[5]
薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ[ja] [P]. 
SAKAI TOSHIHIKO ;
HIGASHI DAISUKE ;
FUJIWARA MASAYOSHI .
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[6]
薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ[ja] [P]. 
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[7]
薄膜トランジスタアレイパネル[ja] [P]. 
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[8]
[9]
[10]
薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法[ja] [P]. 
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