共 50 条
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成膜方法及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20210110190
申请日：
2021-07-01
公开(公告)号：
JP2023007137A
公开(公告)日：
2023-01-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C14/04
C23C14/12
H01L21/302
H01L21/306
H01L21/31
H01L21/318
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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