共 50 条
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成膜方法及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20230041708
申请日：
2023-03-16
公开(公告)号：
JP2024131444A
公开(公告)日：
2024-09-30
发明(设计)人：
KODAMA KAZUKI
UEDA DAISUKE
申请人：
ALPHASYSTEM KK
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/28
IPC分类号：
C23C14/06
H01L21/203
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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