共 50 条
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交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス[ja]
被引：0
申请号：
JP20210575911
申请日：
2020-06-22
公开(公告)号：
JP2022539991A
公开(公告)日：
2022-09-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
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法律状态
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