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周期的プラズマエッチングプロセス[ja]

被引：0
申请号：
JP20230545907
申请日：
2022-01-25
公开(公告)号：
JP2024506838A
公开(公告)日：
2024-02-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014046083A1 ,2016-08-18
[2]
プラズマエッチング方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017164089A1 ,2019-02-14
[3]
プラズマエッチング方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016117563A1 ,2017-11-02
[4]
プラズマエッチング方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018037799A1 ,2019-06-20
[5]
非プラズマエッチング方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021525459A ,2021-09-24
[6]
熱原子層エッチングプロセス[ja] [P]. 
日本专利 :JP2020501373A ,2020-01-16
[7]
熱原子層エッチングプロセス[ja] [P]. 
TOM E BROMBERG ;
ZHU CHI-YU ;
MARKO J TUOMINEN ;
SUVI P HAUKKA ;
VARUN SHARMA .
日本专利 :JP2022043274A ,2022-03-15
[8]
熱原子層エッチングプロセス[ja] [P]. 
TOM E BROMBERG ;
ZHU CHI-YU ;
MARKO J TUOMINEN ;
SUVI P HAUKKA ;
VARUN SHARMA .
日本专利 :JP2025106363A ,2025-07-15
[9]
熱原子層エッチングプロセス[ja] [P]. 
TOM E BROMBERG ;
ZHU CHI-YU ;
MARKO J TUOMINEN ;
SUVI P HAUKKA ;
VARUN SHARMA .
日本专利 :JP2022185111A ,2022-12-13
[10]
プラズマエッチングプロセスでのコーティング部品を使用するプロセスウィンドウの拡大[ja] [P]. 
日本专利 :JP2020530201A ,2020-10-15
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