熱原子層エッチングプロセス[ja]

被引：0

申请号：

JP20250061057

申请日：

2025-04-02

公开(公告)号：

JP2025106363A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

TOM E BROMBERG ZHU CHI-YU MARKO J TUOMINEN SUVI P HAUKKA VARUN SHARMA

申请人：

ASM IP HOLDING BV

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

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共 50 条

[1]

熱原子層エッチングプロセス[ja] [P].

TOM E BROMBERG ;

ZHU CHI-YU ;

MARKO J TUOMINEN ;

SUVI P HAUKKA ;

VARUN SHARMA .

日本专利 :JP2022043274A ,2022-03-15

[2]

熱原子層エッチングプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2020501373A ,2020-01-16

[3]

熱原子層エッチングプロセス[ja] [P].

TOM E BROMBERG ;

ZHU CHI-YU ;

MARKO J TUOMINEN ;

SUVI P HAUKKA ;

VARUN SHARMA .

日本专利 :JP2022185111A ,2022-12-13

[4]

原子層エッチング法用エッチング材料[ja] [P].

日本专利 :JP2022090148A ,2022-06-17

[5]

金属の原子層エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2022549244A ,2022-11-24

[6]

周期的プラズマエッチングプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2024506838A ,2024-02-15

[7]

金属フィーチャーの原子層エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2024522394A ,2024-06-19

[8]

ｉｎ－ｓｉｔｕ原子層堆積プロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2022533388A ,2022-07-22

[9]

エナンチオ選択的プロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2022512919A ,2022-02-07

[10]

積層体のエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023101962A ,2023-07-24

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