共 50 条
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プラズマエッチング方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160570657
申请日：
2016-01-19
公开(公告)号：
JPWO2016117563A1
公开(公告)日：
2017-11-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
H10B41/20
H10B41/27
H10B43/20
H10B43/27
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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