エッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20190523511

申请日：

2018-06-01

公开(公告)号：

JPWO2018225661A1

公开(公告)日：

2020-04-09

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

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法律状态信息

共 50 条

[1]

エッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025133636A ,2025-09-11

[2]

エッチング方法[ja] [P].

TONARI KAZUHIKO ;

ONO YOHEI ;

SON JINHYEOK ;

PARK JUN-CHANG ;

LEE HYUNHWA ;

BAE JINJU .

日本专利 :JP2025025807A ,2025-02-21

[3]

エッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009119848A1 ,2011-07-28

[4]

エッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009101948A1 ,2011-06-09

[5]

エッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018020822A1 ,2019-05-09

[6]

エッチング液及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008111389A1 ,2010-06-24

[7]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[8]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[9]

エッチング装置およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010103939A1 ,2012-09-13

[10]

エッチング剤、エッチング方法及びエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009081884A1 ,2011-05-06

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