イオン源および当該イオン源を備えたイオンビーム照射装置[ja]

被引:0
申请号
JP20130040562
申请日
2013-03-01
公开(公告)号
JP6083260B2
公开(公告)日
2017-02-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J27/16
IPC分类号
H01J37/08 H01J37/317
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
イオン源、イオンビーム照射装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6774034B2 ,2020-10-21
[4]
イオンビーム照射装置およびイオンビーム照射方法[ja] [P]. 
ONODA MASATOSHI ;
GOTO RYOSUKE ;
NAGAO YUICHI ;
UI TOSHIMASA .
日本专利 :JP2024048246A ,2024-04-08
[7]
イオンビーム照射装置、イオン源の着脱方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6418262B2 ,2018-11-07
[8]
イオンビーム照射方法及びイオンビーム照射装置[ja] [P]. 
UCHIDA YUYA ;
KAI HIROAKI .
日本专利 :JP2024139099A ,2024-10-09
[10]
イオン照射装置、イオン照射方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5877936B1 ,2016-03-08