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ルテニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20150553423
申请日：
2014-11-07
公开(公告)号：
JPWO2015093177A1
公开(公告)日：
2017-03-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C225/14
IPC分类号：
C23C16/18
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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