化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20180550070
申请日
2017-10-05
公开(公告)号
JP7075891B2
公开(公告)日
2022-05-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C07F15/06
IPC分类号
C07C257/14 C23C16/18
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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