共 50 条
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銅化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20140100611
申请日：
2014-05-14
公开(公告)号：
JP6278827B2
公开(公告)日：
2018-02-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C215/08
IPC分类号：
C07F1/08
C23C16/18
H01L21/28
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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