共 50 条
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新規な化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170107591
申请日：
2017-05-31
公开(公告)号：
JP6948159B2
公开(公告)日：
2021-10-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F7/00
IPC分类号：
C07F17/00
C23C16/18
H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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