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スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja]

被引：0
申请号：
JP20140516704
申请日：
2013-03-26
公开(公告)号：
JPWO2013175854A1
公开(公告)日：
2016-01-12
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C09K3/14
IPC分类号：
B24B37/00 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175857A1 ,2016-01-12
[2]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175859A1 ,2016-01-12
[3]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175856A1 ,2016-01-12
[4]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015030009A1 ,2017-03-02
[5]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015037311A1 ,2017-03-02
[6]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基板の研磨方法及び基板[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012070542A1 ,2014-05-19
[7]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基板の研磨方法及び基板[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012070541A1 ,2014-05-19
[8]
浆料、研磨液组、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P]. 
岩野友洋 .
中国专利 :CN105453235B ,2016-03-30
[9]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104334675A ,2015-02-04
[10]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104321852A ,2015-01-28
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