共 50 条
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イオン注入装置およびイオン注入方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20190145266
申请日：
2019-08-07
公开(公告)号：
JP7242469B2
公开(公告)日：
2023-03-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/317
IPC分类号：
C23C14/48
H01L21/265
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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