スルホン酸誘導体化合物、光酸発生剤、レジスト組成物、カチオン重合開始剤、およびカチオン重合性組成物[ja]

被引:0
申请号
JP20140042167
申请日
2014-03-04
公开(公告)号
JP6274655B2
公开(公告)日
2018-02-07
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C07D221/14
IPC分类号
C08F2/00 C08F2/48 G03F7/004 G03F7/038 G03F7/039
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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