新規スルホン酸誘導体化合物、光酸発生剤、カチオン重合開始剤、レジスト組成物およびカチオン重合性組成物[ja]

被引:0
申请号
JP20140549869
申请日
2013-11-27
公开(公告)号
JPWO2014084269A1
公开(公告)日
2017-01-05
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C07D221/14
IPC分类号
C09K3/00 G03F7/004
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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