共 50 条
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
新規スルホン酸誘導体化合物、光酸発生剤、カチオン重合開始剤、レジスト組成物およびカチオン重合性組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20140549869
申请日：
2013-11-27
公开(公告)号：
JPWO2014084269A1
公开(公告)日：
2017-01-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07D221/14
IPC分类号：
C09K3/00
G03F7/004
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |