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高分子化合物、感放射線性組成物及びパターン形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160091799
申请日：
2016-04-28
公开(公告)号：
JP6951833B2
公开(公告)日：
2021-10-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C08L61/06
IPC分类号：
C08G8/28
G03F7/038
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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