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二次元放射線検出器の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20130151451
申请日：
2013-07-22
公开(公告)号：
JP6163936B2
公开(公告)日：
2017-07-19
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L27/146
IPC分类号：
G01T1/24
H01L27/144
H01L31/08
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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