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微小電気機械共振器[ja]
被引：0
申请号：
JP20170562753
申请日：
2016-06-19
公开(公告)号：
JP6914856B2
公开(公告)日：
2021-08-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H03H9/24
IPC分类号：
B81B3/00
H03H3/007
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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