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結晶性酸化物半導体膜、半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20150035938
申请日：
2015-02-25
公开(公告)号：
JP6876895B2
公开(公告)日：
2021-05-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
H01L21/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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