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結晶性酸化物半導体膜および半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20220114534
申请日：
2022-07-19
公开(公告)号：
JP7358718B2
公开(公告)日：
2023-10-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/40
IPC分类号：
C30B29/16
C30B25/02
H01L21/329
H01L21/336
H01L21/338
H01L29/12
H01L29/24
H01L29/739
H01L29/778
H01L29/78
H01L29/812
H01L29/872
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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