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ルテニウム膜形成用材料及びルテニウム膜形成方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20110553837
申请日：
2011-02-08
公开(公告)号：
JPWO2011099467A1
公开(公告)日：
2013-06-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
H01L21/28 H01L21/285
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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