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タングステン化合物膜の形成方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20110270436
申请日：
2011-12-09
公开(公告)号：
JP5925476B2
公开(公告)日：
2016-05-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/42
IPC分类号：
C23C16/34 H01L21/285 H01L21/3205 H01L21/768 H01L23/522 H01L23/532
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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