タングステン化合物を用いたタングステン−含有膜の蒸着方法及び前記タングステン化合物を含むタングステン−含有膜蒸着用前駆体組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20160515280

申请日：

2014-05-26

公开(公告)号：

JP2016526100A

公开(公告)日：

2016-09-01

发明(设计)人：

申请人：

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IPC主分类号：

C23C16/18

IPC分类号：

C23C16/16 H01L21/28 H01L21/285

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[1]

タングステン化合物を用いたタングステン−含有膜の蒸着方法及び前記タングステン化合物を含むタングステン−含有膜蒸着用前駆体組成物[ja] [P].

日本专利 :JP6201204B2 ,2017-09-27

[2]

タングステン前駆体及びそれを含むタングステン含有フィルム蒸着方法[ja] [P].

日本专利 :JP2018524408A ,2018-08-30

[3]

タングステン化合物吸着剤およびそれを用いたタングステン化合物の回収方法[ja] [P].

日本专利 :JP6224817B2 ,2017-11-01

[4]

タングステン化合物膜の形成方法[ja] [P].

日本专利 :JP5925476B2 ,2016-05-25

[5]

タングステンＣＭＰ用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022517044A ,2022-03-03

[6]

タングステン化合物の回収方法[ja] [P].

日本专利 :JP5848440B2 ,2016-01-27

[7]

タングステン化合物の回収方法[ja] [P].

日本专利 :JP6121847B2 ,2017-04-26

[8]

タングステン化合物の回収方法[ja] [P].

日本专利 :JP6374285B2 ,2018-08-15

[9]

タングステン化合物の回収方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013151190A1 ,2015-12-17

[10]

メタタングステン酸塩化合物の製造方法、レジスト用メタタングステン酸塩化合物、及び、レジスト材料[ja] [P].

NODA KUNIHIRO ;

INARI TAKATOSHI ;

NISHIZAWA AKITO ;

NAGATA MASAYA .

日本专利 :JP2025022617A ,2025-02-14

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