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メタタングステン酸塩化合物の製造方法、レジスト用メタタングステン酸塩化合物、及び、レジスト材料[ja]
被引：0
申请号：
JP20230127352
申请日：
2023-08-03
公开(公告)号：
JP2025022617A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
NODA KUNIHIRO
INARI TAKATOSHI
NISHIZAWA AKITO
NAGATA MASAYA
申请人：
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C381/12
IPC分类号：
G03F7/004
G03F7/038
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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