共 50 条
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化合物、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180153687
申请日：
2018-08-17
公开(公告)号：
JP7129272B2
公开(公告)日：
2022-09-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C309/64
IPC分类号：
C07C309/71
G03F7/004
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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