共 50 条
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化合物、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20130247396
申请日：
2013-11-29
公开(公告)号：
JP6221689B2
公开(公告)日：
2017-11-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07D221/14
IPC分类号：
C07D279/12
C08F220/12
G03F7/004
G03F7/039
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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