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フォトマスク用基板の製造方法、フォトマスクブランクスの製造方法、フォトマスクの製造方法、フォトマスク用基板の再利用方法、フォトマスク用基板、フォトマスクブランクス、フォトマスク、石英ガラス基板の加工装置[ja]
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日本专利 :JP2025165244A ,2025-11-04
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