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誘電体基板上の誘電体材料の選択的な縦方向成長の方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180076934
申请日：
2018-04-12
公开(公告)号：
JP7018812B2
公开(公告)日：
2022-02-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/04
C23C16/42
H01L21/768
H01L23/532
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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