共 50 条
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誘電体上に誘電体を選択的に堆積させる方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230545746
申请日：
2022-01-21
公开(公告)号：
JP2024505506A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/04
C23C16/06
C23C16/42
C23C16/455
H01L21/3205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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