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ＰＶＤ誘電体堆積ための装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20170550458
申请日：
2015-10-15
公开(公告)号：
JP2018502224A
公开(公告)日：
2018-01-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C23C14/35
C23C14/38
H01L21/203
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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