誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20220517969

申请日：

2020-09-21

公开(公告)号：

JP7374308B2

公开(公告)日：

2023-11-06

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/318

IPC分类号：

C23C16/42 H01L21/31 H01L21/314 H01L21/768 H01L23/532

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共 50 条

[1]

誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022549243A ,2022-11-24

[2]

誘電体材料の堆積方法[ja] [P].

日本专利 :JP7176106B2 ,2022-11-21

[3]

誘電体材料の堆積方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022500867A ,2022-01-04

[4]

誘電体材料を硬化させる方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP7331236B2 ,2023-08-22

[5]

誘電体材料を硬化させる方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022541735A ,2022-09-27

[6]

誘電体上に誘電体を選択的に堆積させる方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024505506A ,2024-02-06

[7]

ＰＶＤ誘電体堆積ための装置[ja] [P].

日本专利 :JP2018502224A ,2018-01-25

[8]

電荷遮断材料を形成する方法及び電荷遮断材料を有する集積アセンブリ[ja] [P].

日本专利 :JP2023505197A ,2023-02-08

[9]

強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022528388A ,2022-06-10

[10]

強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja] [P].

ALEXIS DROUIN ;

ISABELLE HUYET ;

MORGANE LOGIOU .

日本专利 :JP2025019339A ,2025-02-06

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