強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20210557768

申请日：

2020-03-26

公开(公告)号：

JP2022528388A

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H10N30/01

IPC分类号：

H10N30/072 H01L21/02 H10N30/086 H10N30/20 H10N30/853

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共 50 条

[1]

強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja] [P].

ALEXIS DROUIN ;

ISABELLE HUYET ;

MORGANE LOGIOU .

日本专利 :JP2025019339A ,2025-02-06

[2]

強誘電体材料の薄膜を準備するためのプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2024544472A ,2024-12-03

[3]

アルカリ金属に基づく強誘電体材料の薄層を作製するためのプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2021515989A ,2021-06-24

[4]

リチウム含有強誘電体材料からなる薄いモノドメイン層を調製するためのプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2025540430A ,2025-12-11

[5]

強誘電体キャパシタ、強誘電体電界効果トランジスタ、並びに導電材料及び強誘電体材料を含む電子部品の形成に用いられる方法[ja] [P].

日本专利 :JP2018536998A ,2018-12-13

[6]

アルカリ金属に基づく強誘電体材料の薄層を作製するためのプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP7344217B2 ,2023-09-13

[7]

誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP7374308B2 ,2023-11-06

[8]

誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022549243A ,2022-11-24

[9]

誘電体材料の製造方法[ja] [P].

TACHIKAWA TAKASHI ;

KUMABE YOSHITAKA .

日本专利 :JP2024062834A ,2024-05-10

[10]

強誘電体薄膜、強誘電体薄膜の製造方法、圧電体素子の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012063642A1 ,2014-05-12

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