共 50 条
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誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20220517969
申请日：
2020-09-21
公开(公告)号：
JP2022549243A
公开(公告)日：
2022-11-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/318
IPC分类号：
C23C16/42
H01L21/31
H01L21/314
H01L21/768
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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