強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20240208588
申请日
2024-11-29
公开(公告)号
JP2025019339A
公开(公告)日
2025-02-06
发明(设计)人
ALEXIS DROUIN ISABELLE HUYET MORGANE LOGIOU
申请人
SOYTEC
申请人地址
IPC主分类号
H10N30/086
IPC分类号
H01L21/02 H10N30/853
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
強誘電体材料の薄い層を準備する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022528388A ,2022-06-10
[2]
強誘電体材料の薄膜を準備するためのプロセス[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024544472A ,2024-12-03
[7]
誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7374308B2 ,2023-11-06
[8]
誘電体材料を堆積する方法及び装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022549243A ,2022-11-24
[9]
誘電体材料の製造方法[ja] [P]. 
TACHIKAWA TAKASHI ;
KUMABE YOSHITAKA .
日本专利 :JP2024062834A ,2024-05-10