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誘電体材料蒸発のためのプラズマ強化堆積設備、堆積装置及びその操作方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20150548616
申请日：
2013-12-20
公开(公告)号：
JP6456841B2
公开(公告)日：
2019-01-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/448
IPC分类号：
C23C16/30
C23C16/50
H01M4/525
H01M10/0562
H01M10/0585
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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