半導体デバイス用の、選択された分極を有する誘電体材料を形成する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230509574
申请日
2021-07-30
公开(公告)号
JP7743144B2
公开(公告)日
2025-09-24
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/316
IPC分类号
C23C16/40 C23C16/44
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[3]
半導体デバイスの空隙スペーサを形成する方法および半導体デバイス[ja] [P]. 
NGUYEN SON VAN ;
YAMASHITA TENKO ;
CHENG KANGGUO ;
THOMAS JASPER HAIGH JR ;
PARK CHANRO ;
ERIC LINIGER ;
LI JUNTAO ;
SANJAY MEHTA .
日本专利 :JP2022140451A ,2022-09-26
[6]
窒化された界面層を有する半導体基板[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023532799A ,2023-07-31
[10]
誘電半導体膜を有する静電レンズ[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016522973A ,2016-08-04