半導体装置及びその製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20120500401

申请日：

2010-09-17

公开(公告)号：

JPWO2011101931A1

公开(公告)日：

2013-06-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/28

IPC分类号：

H01L21/8238 H01L21/283 H01L21/316 H01L21/318 H01L21/336 H01L27/092 H01L29/423 H01L29/49 H01L29/78

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007116445A1 ,2009-08-20

[2]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011043448A1 ,2013-03-04

[3]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

WATAKABE SO ;

TSUBUKI MASASHI ;

SASAKI TOSHINARI ;

HANADA AKIHIRO ;

TAMARU TAKAYA .

日本专利 :JP2024053987A ,2024-04-16

[4]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025003371A ,2025-01-09

[5]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006022175A1 ,2008-05-08

[6]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006134663A1 ,2009-01-08

[7]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003081667A1 ,2005-07-28

[8]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2008111188A1 ,2010-06-24

[9]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007004282A1 ,2009-01-22

[10]

半導体装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2002056382A1 ,2004-05-20

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