共 50 条
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光活性ポリマーブラシ材料およびそれを使用するＥＵＶパターニング[ja]
被引：0
申请号：
JP20200544891
申请日：
2019-02-14
公开(公告)号：
JP2021517266A
公开(公告)日：
2021-07-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/039
IPC分类号：
G03F7/004
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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