光活性化エッチングペーストおよびその使用[ja]

被引：0

申请号：

JP20150515406

申请日：

2013-05-07

公开(公告)号：

JP2015526880A

公开(公告)日：

2015-09-10

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/306

IPC分类号：

C09D11/037 C09D11/322 C09D11/52 C09K13/04 H01L31/0224

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共 50 条

[1]

エッチング方法およびエッチング装置[ja] [P].

TAKEYA KOJI ;

KANEKI TOSHIKI ;

KAWAGUCHI TSUBASA .

日本专利 :JP2024044428A ,2024-04-02

[2]

光活性化陽イオンチャネルおよびその使用[ja] [P].

日本专利 :JP6118042B2 ,2017-04-19

[3]

光活性化陽イオンチャネルおよびその使用[ja] [P].

日本专利 :JP6312635B2 ,2018-04-18

[4]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[5]

スパッタターゲットおよびその使用[ja] [P].

日本专利 :JP2015502452A ,2015-01-22

[6]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

[7]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[8]

エッチング方法、エッチング残渣の除去方法、および記憶媒体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020066172A1 ,2021-08-30

[9]

スイッチング素子およびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009078251A1 ,2011-04-28

[10]

亜鉛とスズを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015104962A1 ,2017-03-23

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