公开(公告)号:
JPWO2010106664A1
共 50 条
[8]
酸化物多結晶膜の製造方法、酸化物多結晶膜の製造装置[ja]
[P].
NAKAJIMA TOMOHIKO
论文数: 0 引用数: 0
h-index: 0
机构:
AIST
AIST
NAKAJIMA TOMOHIKO
;
YAMAGUCHI IWAO
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机构:
AIST
AIST
YAMAGUCHI IWAO
;
NOMOTO JUNICHI
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
AIST
AIST
NOMOTO JUNICHI
;
KITANAKA YUKI
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
AIST
AIST
KITANAKA YUKI
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日本专利 :JP2024080234A ,2024-06-13