蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20180563643
申请日
2018-11-13
公开(公告)号
JPWO2019098168A1
公开(公告)日
2019-11-14
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
H01L51/50 H05B33/10
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[9]
蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および金属板[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017057621A1 ,2017-12-14