蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置[ja]

被引:0
申请号
JP20190090946
申请日
2019-05-13
公开(公告)号
JP6792829B2
公开(公告)日
2020-12-02
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
H01L51/50 H05B33/10
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[10]
蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および金属板[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017057621A1 ,2017-12-14