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２−６族半導体材料をアニールするためのチャンバー、装置、及び、方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20100121300
申请日：
2010-05-27
公开(公告)号：
JP5631633B2
公开(公告)日：
2014-11-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/383
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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