半導体部品および半導体部品を製造するための装置[ja]

被引:0
申请号
JP20210564508
申请日
2020-05-14
公开(公告)号
JP2022532048A
公开(公告)日
2022-07-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/266
IPC分类号
H01L21/265 H01L21/336 H01L29/06 H01L29/12 H01L29/78
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[2]
半導体装置、および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
HARADA YUSUKE .
日本专利 :JP2024103169A ,2024-08-01
[3]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
MIYATA YUSUKE ;
HARAGUCHI TOMOKI ;
MINAMITAKE HARUHIKO ;
HOSHI TAIKI ;
AKAO MASAYA ;
KOKETSU HIDENORI .
日本专利 :JP2025126502A ,2025-08-29
[4]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7378693B1 ,2023-11-13
[5]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2005013374A1 ,2006-09-28
[6]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016139794A1 ,2017-12-21
[7]
[8]
半導体構造および半導体構造の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016530719A ,2016-09-29
[10]