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プラズマ処理表面上の組成[ja]
被引:0
申请号
:
JP20190517213
申请日
:
2017-09-29
公开(公告)号
:
JP2019536838A
公开(公告)日
:
2019-12-19
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
B05D1/26
IPC分类号
:
B05D3/04
B05D7/00
C08J7/00
C08J7/043
C08J7/048
C12M1/34
C12Q1/6806
C12Q1/6876
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
プラズマ処理表面上の組成[ja]
[P].
日本专利
:JP2022121519A
,2022-08-19
[2]
プラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2022105037A
,2022-07-12
[3]
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019138654A1
,2020-01-16
[4]
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置[ja]
[P].
NAGAUMI KOICHI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
NAGAUMI KOICHI
;
OSHITA TATSURO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
OSHITA TATSURO
;
NAGASEKI KAZUYA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
NAGASEKI KAZUYA
;
HIMORI SHINJI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
HIMORI SHINJI
.
日本专利
:JP2022087334A
,2022-06-09
[5]
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7075540B1
,2022-05-25
[6]
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2023067921A
,2023-05-16
[7]
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法[ja]
[P].
HIGUCHI RYUTA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
TOKYO ELECTRON LTD
HIGUCHI RYUTA
;
SAITO TAKENAO
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
TOKYO ELECTRON LTD
SAITO TAKENAO
;
NAKAJIMA TOSHIKI
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0
引用数:
0
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0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
TOKYO ELECTRON LTD
NAKAJIMA TOSHIKI
;
KITAMURA YUJI
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
TOKYO ELECTRON LTD
TOKYO ELECTRON LTD
KITAMURA YUJI
.
日本专利
:JP2025114638A
,2025-08-05
[8]
プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019003483A1
,2019-07-04
[9]
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2023054031A
,2023-04-13
[10]
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2020012907A1
,2020-07-27
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